中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
上海光学精密机械研究... [7]
云南天文台 [1]
长春应用化学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
期刊论文 [8]
专利 [1]
发表日期
2021 [1]
2013 [2]
2012 [4]
1996 [1]
学科主题
天文学 [1]
物理学 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共9条,第1-9条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
天琴计划简介
期刊论文
OAI收割
中山大学学报(自然科学版)/Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2021
作者:
罗俊
;
艾凌皓
;
艾艳丽
;
安子聪
;
白伟钢
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:288/0
  |  
提交时间:2021/01/18
天琴计划
空间引力波探测
引力波
基于空间像峰值光强差的奇像差测量技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 512002
作者:
涂远莹
;
王向朝
;
闫观勇
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2016/11/28
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:
涂远莹
;
王向朝
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2016/11/28
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging
期刊论文
OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 2061-2063
Tu YY(涂远莹)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Cao YT(曹宇婷)
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2013/09/09
光刻
偏振像差
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging
期刊论文
OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11
Tu, YY (Tu, Yuanying)
;
Wang, XZ (Wang, Xiangzhao)
;
Li, SK (Li, Sikun)
;
Cao, YT (Cao, Yuting)
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2013/09/17
Impact of mask absorber thickness on the focus shift effect in extreme ultraviolet lithography
期刊论文
OAI收割
journal of vacuum science & technology b, 2012, 卷号: 30, 期号: 3
Cao, YT (Cao, Yuting)
;
Wang, XZ (Wang, Xiangzhao)
;
Tu, YY (Tu, Yuanying)
;
Bu, P (Bu, Peng)
收藏
  |  
浏览/下载:33/0
  |  
提交时间:2013/09/17
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging
期刊论文
OAI收割
optics letters, 2012, 期号: 11
Tu, YY (Tu, Yuanying)
;
Wang, XZ (Wang, Xiangzhao)
;
Li, SK (Li, Sikun)
;
Cao, YT (Cao, Yuting)
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2013/09/17
质谱中的立体化学效应(19)──对映异构的α-苯乙胺光学纯度质谱测定
期刊论文
OAI收割
高等学校化学学报, 1996, 卷号: 17, 期号: 9, 页码: 1421-1423
吴忆南
;
涂亚平
;
潘远江
;
陈耀祖
;
崔勐
;
宋凤瑞
;
刘淑莹
收藏
  |  
浏览/下载:56/3
  |  
提交时间:2010/12/22
对映体
光学纯度
质谱测定
光刻机投影物镜偏振像差原...
专利
OAI收割
专利号: ZL2013101407..., 公开日期: 2015-09-16
作者:
涂远莹
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2018/12/28