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天琴计划简介 期刊论文  OAI收割
中山大学学报(自然科学版)/Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2021
作者:  
罗俊;  艾凌皓;  艾艳丽;  安子聪;  白伟钢
  |  收藏  |  浏览/下载:288/0  |  提交时间:2021/01/18
基于空间像峰值光强差的奇像差测量技术 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 512002
作者:  
涂远莹;  王向朝;  闫观勇
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/11/28
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:  
涂远莹;  王向朝
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2016/11/28
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 2061-2063
Tu YY(涂远莹); Wang XC(王向朝); Li SK(李思坤); Cao YT(曹宇婷)
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2013/09/09
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11
Tu, YY (Tu, Yuanying); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Li, SK (Li, Sikun); Cao, YT (Cao, Yuting)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2013/09/17
Impact of mask absorber thickness on the focus shift effect in extreme ultraviolet lithography 期刊论文  OAI收割
journal of vacuum science & technology b, 2012, 卷号: 30, 期号: 3
Cao, YT (Cao, Yuting); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Tu, YY (Tu, Yuanying); Bu, P (Bu, Peng)
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2013/09/17
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割
optics letters, 2012, 期号: 11
Tu, YY (Tu, Yuanying); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Li, SK (Li, Sikun); Cao, YT (Cao, Yuting)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2013/09/17
质谱中的立体化学效应(19)──对映异构的α-苯乙胺光学纯度质谱测定 期刊论文  OAI收割
高等学校化学学报, 1996, 卷号: 17, 期号: 9, 页码: 1421-1423
吴忆南; 涂亚平; 潘远江; 陈耀祖; 崔勐; 宋凤瑞; 刘淑莹
收藏  |  浏览/下载:56/3  |  提交时间:2010/12/22
光刻机投影物镜偏振像差原... 专利  OAI收割
专利号: ZL2013101407..., 公开日期: 2015-09-16
作者:  
涂远莹
  |  收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2018/12/28