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内容类型

• 期刊论文 [12]
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发表日期

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浏览/检索结果: 共17条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer 期刊论文  iSwitch采集 Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7 作者:  Yu, Feng;  Xu, Pengcheng;  Wang, Jiachou;  Li, Xinxin 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2019/05/10 Resonant gas sensor  Extensional bulk resonance mode  Non-soi wafer  Low-cost fabrication  Integrated-circuit foundry  Organo-phosphorous pesticide   微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890 王家畴; 刘洁丹; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS  MISSM技术  单硅片单面加工  微型释放窗口   基于压电驱动的靶球筛选操作机理及实验研究 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2012, 期号: 1, 页码: 56-60 陈涛; 陈立国; 潘明强; 王振华; 王家畴; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 惯性约束聚变  微操作  粘着  压电驱动   在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09 李昕欣; 王家畴 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2012/01/06 A single-wafer-based single-sided bulk-micromachining technique for high-yield and low-cost volume production of pressure sensors 期刊论文  OAI收割 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 期号: 0, 页码: 410-413 Wang, Jiachou; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/08/23 Monolithic-integrated silicon bulk-micromachined accelerometer and pressure-sensor for tire-pressure-monitoring-system (TPMS) application 期刊论文  OAI收割 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 期号: 0, 页码: 703-706 Wang, JH; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/08/28 MONOLITHIC-INTEGRATED SILICON BULK-MICROMACHINED ACCELEROMETER AND PRESSURE-SENSOR FOR TIRE-PRESSURE-MONITORING-SYSTEM (TPMS) APPLICATION 会议论文  OAI收割 Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011 Jiachou Wang and Xinxin Li 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/05/04 A SINGLE-WAFER-BASED SINGLE-SIDED BULK-MICROMACHINING TECHNIQUE FOR HIGH-YIELD AND LOW-COST VOLUME PRODUCTION OF PRESSURE SENSORS 会议论文  OAI收割 Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011 Jiachou Wang and Xinxin Li 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/05/04 嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101881676A, 申请日期: 2010-11-10, 公开日期: 2010-11-10 王家畴; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/01/06 侧壁压阻式力传感器的研制与标定 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 03 陈涛; 孙立宁; 陈立国; 荣伟彬; 李昕欣; 王家畴 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 谐振式微悬臂梁传感器  接口电路  锁相环  嵌入式频率电路  频率跟踪