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机构
上海微系统与信息技术... [4]
重庆绿色智能技术研究... [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
专利 [2]
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2014 [1]
2007 [3]
2006 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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Measurement of particle sulfate from micro-aethalometer filters
期刊论文
OAI收割
ATMOSPHERIC ENVIRONMENT, 2014, 卷号: 95, 页码: 520-524
作者:
Wang, Qingqing
;
Yang, Fumo
;
Wei, Lianfang
;
Zheng, Guangjie
;
Fan, Zhongjie
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提交时间:2018/03/15
Sulfate
Black carbon
PM2.5
Personal exposure
Beijing
Micro-aethalometer
一种悬臂梁结构、制作方法及应用
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07
王跃林
;
车录锋
;
熊斌
;
范克彬
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提交时间:2012/01/06
微机械电容式加速度传感器及制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1959417, 申请日期: 2007-05-09, 公开日期: 2007-05-09
熊斌
;
范克彬
;
车录峰
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/01/06
SiO_2/Si上直流磁控反应溅射制备AlN薄膜
期刊论文
OAI收割
材料科学与工程学报, 2007, 期号: 01
范克彬
;
沈伟东
;
王立春
;
熊斌
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/01/06
原子力显微镜
微纳结构
硬件
软件
悬臂梁
力学测试
AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
范克彬
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
AlN薄膜
正交设计
微电子机械系统
压阻式
高量程