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机构
上海微系统与信息技术... [5]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
iSwitch采集 [1]
内容类型
期刊论文 [5]
专利 [1]
发表日期
2017 [1]
2012 [2]
2011 [1]
2009 [1]
2007 [1]
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Controlled cell patterning on bioactive surfaces with special wettability
期刊论文
iSwitch采集
Journal of bionic engineering, 2017, 卷号: 14, 期号: 3, 页码: 440-447
作者:
Zhou, Xiaofeng
;
Li, Jianqian
;
Sun, Hongyan
;
Hu, Yi
;
Che, Lufeng
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提交时间:2019/04/23
Cell patterning
Wettability
Superhydrophilic
Surface chemistry
Circulating tumor cells
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
;
车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
收藏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
Design and fabrication of a micro electromagnetic vibration energy harvester
期刊论文
OAI收割
Journal of Semiconductors., 2011, 卷号: 32, 期号: 10
Wang, Peng
;
Li, Wei
;
Che, LF
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/08/23
一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器
期刊论文
OAI收割
固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01
毛健
;
车录锋
;
林友玲
;
李玉芳
;
周晓峰
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
扫描微镜
约束扭转
单晶硅直梁
横向弯矩
扭转力矩
微机械电容式加速度传感器及制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1959417, 申请日期: 2007-05-09, 公开日期: 2007-05-09
熊斌
;
范克彬
;
车录峰
;
王跃林
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/06