中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条

帮助

条数/页：排序方式：
	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2016/11/28 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能
	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：42/0 \| 提交时间：2016/11/25 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能
	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2016/11/28 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能
	New calix[4]arene derivatives as maskless and development-free laser thermal lithography materials for fabricating micro/nano-patterns 期刊论文 OAI收割 j. mater. chem. c, 2013, 期号: 1, 页码: 2470-2476 Deng CM(邓常猛); Geng YY(耿永友); Wu YQ(吴谊群) 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2013/06/09
	激光热刻蚀材料的制备及其直写光刻性质研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 邓常猛收藏 \| 浏览/下载：57/0 \| 提交时间：2016/11/28 激光热刻蚀杯[4]芳烃衍生物 GeSbTe 激光直写光刻
	XPS study on the selective wet etching mechanism of GeSbTe phase change thin films with tetramethylammonium hydroxide 会议论文 OAI收割 international workshop on information storage / 9th international symposium on optical storage 作者: Deng, Changmeng; Geng, Yongyou; Wu, Yiqun 收藏 \| 浏览/下载：44/0 \| 提交时间：2016/11/28
	Adhesion effect of interface layers on pattern fabrication with GeSbTe as laser thermal lithography film 期刊论文 OAI收割 microelectronic engineering, 2013, 期号: 103, 页码: 7-11 Deng CM(邓常猛); Geng YY(耿永友); Wu YQ(吴谊群); Wang Y(王阳); Wei JS(魏劲松) 收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2013/06/09
	Selective Wet-etching of Ge2Sb2Te5 Phase-change Thin Films in Thermal Lithography with Tetramethylammonium 期刊论文 OAI收割 applied physics a: materials science &processing, 2011, 期号: 104, 页码: 1091-1097 Deng CM(邓常猛) 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2012/04/24 Ge2Sb2Te5 film selective wet etching tetramethylammonium thermal lithography
	激光直写有机热刻蚀材料及... 专利 OAI收割专利号: ZL2012104213..., 公开日期: 2014-08-13 作者: 邓常猛; 耿永友; 吴谊群 \| 收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2018/12/28