机构

• 微电子研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2012 [2]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Investigation of fused silica glass etching using C4F8/Ar inductively coupled plasmas for through glass via（TGV）applications 期刊论文  OAI收割 Microsyst Technol, 2015 作者:  林来存;  王启东;  靖向萌   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/06/02 采用高精度X射线/CT技术对硅通孔的无损测试 会议论文  OAI收割 2012-12-05 作者:  靖向萌   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/11/05 不同添加剂浓度下硅通孔电镀仿真及实验验证 会议论文  OAI收割 荷兰阿姆斯特丹, 2012-12-07 作者:  戴风伟;  宋崇申;  靖向萌   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/11/05