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On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique 期刊论文  OAI收割
Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52
Wang, Quan; Li,XX; Li,T; Bao, Minhang; Zhou, Wei
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/08/23
On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique 期刊论文  OAI收割
Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52
Wang, Quan; Li,XX; Li,T; Bao, Minhang; Zhou, Wei
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/08/23
一种基于表面微机械加工的绝对压力传感器芯片及制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101487747, 申请日期: 2009-07-22, 公开日期: 2009-07-22
王权; 李昕欣; 鲍敏杭
收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/01/06
A NOVEL MONOLITHICALLY INTEGRATED PRESSURE, ACCELEROMETER AND TEMPERATURE COMPOSITE SENSOR 会议论文  OAI收割
Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009
Quan Wang, Xinxin Li, Tie Li, Minhang Bao, Kun Zhang, Xiaohong Ge, Wei Zhou and Haifei Bao
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/05/04
片上集成三电极体系微电极阵列的表征 会议论文  OAI收割
第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 2007
吕尊实; 周嘉; 陈华; 黄宜平; 鲍敏杭
收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2012/01/18
微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文) 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2006, 期号: 03
孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 黄宜平
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06
用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁 成果  OAI收割
鉴定: 无, 2006
李昕欣; 鲍敏杭; 杨恒; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/04/12
用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1587024, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
李昕欣; 韩建强; 鲍敏杭; 杨恒; 沈绍群; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06
从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨 会议论文  OAI收割
第九届全国敏感元件与传感器学术会议, 2005
李昕欣; 王跃林; 鲍敏杭; 焦继伟; 李铁; 杨恒; 罗乐; 车录锋
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/18
微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算 会议论文  OAI收割
第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003
孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/18