机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 工程热物理研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 会议论文 [2]

发表日期

• 2004 [2]
• 2003 [2]
• 2002 [1]

学科主题

• Engineerin... [1]
• Engineerin... [1]
• Physics, A... [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Micro Turbocharger on a Single Silicon Rotor 会议论文  OAI收割 ASME:MICROTURBINES AND SMALL TURBOMACHINERY, 2004 P. Kang, S. Tanaka, and M. Esashi 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/11/28 Micro Turbocharger on a Single Silicon Rotor 会议论文  OAI收割 2004 P. Kang, S. Tanaka, and M. Esashi   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2011/11/28 Resonance enhancement of micromachined resonators with strong mechanical-coupling between two degrees of freedom 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2003, 卷号: 65, 期号: 1-2, 页码: 1-12 Li, XX; Ono, T; Lin, RM; Esashi, M 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/12/17 POLYSILICON   Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young's modulus 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 15, 页码: 3081-3083 Li, XX; Ono, T; Wang, YL; Esashi, M 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSITIVITY  OSCILLATORS   Study on ultra-thin NEMS cantilevers - High yield fabrication and size-effect on Young's modulus of silicon 期刊论文  OAI收割 FIFTEENTH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2002, 页码: 427-430 Li, XX; Ono, T; Wang, YL; Esashi, M 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSITIVITY