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上海微系统与信息技术... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1994 [1]
1993 [1]
1992 [1]
1990 [1]
学科主题
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COMPARATIVE INVESTIGATION OF DAMAGE-INDUCED BY DIATOMIC AND MONOATOMIC ION-IMPLANTATION IN SILICON
期刊论文
OAI收割
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1994, 卷号: 85, 期号: 1-4, 页码: 524-527
LOHNER,T
;
TOTH,Z
;
FRIED,M
;
KHANH,NQ
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YANG,GQ
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LU,LC
;
Zou,SC
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HANEKAMP,LJ
;
VANSILFHOUT,A
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GYULAI,J
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提交时间:2012/03/25
DAMAGE ENHANCEMENT EFFECT IN SILICON IMPLANTED WITH MOLECULAR-IONS
期刊论文
OAI收割
SCIENCE IN CHINA SERIES A-MATHEMATICS PHYSICS ASTRONOMY, 1993, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 235-242
LIN,CL
;
YANG,GQ
;
FANG,ZW
;
LI,XQ
;
Zou,SC(邹世昌)
;
GYULAI,J
;
ELLIMAN,RG
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提交时间:2012/03/25
DENSITY
SPIKES
硅中分子离子注入的损伤增强效应
期刊论文
OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1992, 期号: 07
林成鲁
;
杨根庆
;
方子韦
;
李晓勤
;
邹世昌
;
J.Gyulai
;
R.G.Elliman
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提交时间:2012/03/29
DAMAGE ANNEALING BEHAVIOR IN DIATOMIC PHOSPHORUS ION-IMPLANTED SILICON
期刊论文
OAI收割
RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS, 1990, 卷号: 115, 期号: 1-3, 页码: 183-192
YANG, GQ
;
KHANH, NQ
;
FRIED, M
;
KOTAI, E
;
SCHILLER, V
;
LU, LC
;
GYULAI, J
;
ZOU, SH
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提交时间:2012/03/25
BOMBARDMENT
SI
GE