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Fast axis beam profile shaping for high power laser diode based annealing system 专利  OAI收割
专利号: US8288683, 申请日期: 2012-10-16, 公开日期: 2012-10-16
作者:  JENNINGS, DEAN;  MAYUR, ABHILASH J.;  THOMAS, TIMOTHY N.;  PARIHAR, VIJAY;  ACHUTHARAMAN, VEDAPURAM S.
  |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/12/23
Multiple band pass filtering for pyrometry in laser based annealing systems 专利  OAI收割
专利号: EP1831658A2, 申请日期: 2007-09-12, 公开日期: 2007-09-12
作者:  ADAMS, BRUCE, E.;  JENNINGS, DEAN;  HUNTER, AARON, M.;  MAYUR, ABHILASH, J.;  PARIHAR, VIJAY
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/12/31
Thermal FLUX laser annealing for ion implantation of semiconductor p-n junctions 专利  OAI收割
专利号: WO2007018567A1, 申请日期: 2007-02-15, 公开日期: 2007-02-15
作者:  ADAMS, BRUCE, E.;  JENNINGS, DEAN;  MAYUR, ABHILASH, J.;  PARHIHAR, VIJAY;  RANISH, JOSEPH, M.
  |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/12/31