机构

• 光电技术研究所 [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2019 [1]
• 2015 [2]

学科主题

• Calibratio... [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Large range nano alignment for proximity lithography using complex grating 期刊论文  OAI收割 Optics and Laser Technology, 2019, 卷号: 112, 页码: 101-106 作者:  Tang, Yan;  Liu, Junbo;  Yang, Yong;  Hu, Song;  Zhao, Lixin   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/05/06 Moire-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2015, 卷号: 7, 期号: 6 作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/02/03 Moire fringes  magnification  grating marks  phase analysis   Moiré-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System 期刊论文  OAI收割 IEEE Photonics Journal, 2015, 卷号: 7, 期号: 6, 页码: 3900311 作者:  Zhou, Yi;  Zhu, Jiangping;  Deng, Qinyuan;  Liu, Junbo;  Si, Xinchun 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/23