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	超深亚微米工艺条件下基于模型的光学邻近效应修正方法的研究学位论文 OAI收割博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 朱亮收藏 \| 浏览/下载：151/0 \| 提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术光学邻近效应修正可制造性设计亚分辨率辅助图形光学和工艺邻近效应修正
	超深亚微米工艺条件下基于模型的光学临近效应修正方法的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009 朱亮收藏 \| 浏览/下载：47/0 \| 提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术　光学邻近效应修正　可制造性设计　亚分辨率辅助图形　光学和工艺邻近效应修正
	基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法期刊论文 OAI收割机械工程学报, 2006, 期号: 09 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/01/06 可制造性设计光刻规则检查光学邻近效应修正设计规则制程窗口