机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [2]
• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 超深亚微米工艺条件下基于模型的光学邻近效应修正方法的研究 学位论文  OAI收割 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 朱亮 收藏  |  浏览/下载：151/0  |  提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术  光学邻近效应修正  可制造性设计  亚分辨率辅助图形  光学和工艺邻近效应修正   超深亚微米工艺条件下基于模型的光学临近效应修正方法的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 朱亮 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术  　光学邻近效应修正  　可制造性设计  　亚分辨率辅助图形  　光学和工艺邻近效应修正　   193nm光刻散射条技术研究 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 4，360-363 作者:  康晓辉;  张立辉;  王德强;  范东升;  谢常青   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/26 光刻 亚分辨率辅助图形 散射条 离轴照明 分辨率增强 光学临近效应校正