机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2017 [1]
• 2010 [1]
• 2005 [2]

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 半导体材料 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 GaAs/Si低温直接键合技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 刘雨生 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/06/01 GaAs/Si  直接键合  低温  等离子体活化   低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   基于低温键合技术制备SOI材料的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 等离子体活化 键合强度 低温键合   等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/18 等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注