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机构
微电子研究所 [2]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2005 [1]
1997 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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0.5μm高速BiCMOS的工艺研究
期刊论文
OAI收割
微电子学与计算机, 2005, 卷号: 22, 期号: 1, 页码: 3,133-135
作者:
海潮和
;
程超
;
孙宝刚
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收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2010/05/26
Bicmos工艺 Sic技术 Si3n4/sio2复合侧墙 超簿内基区
同步辐射X射线光刻实验研究
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 1997, 期号: 6, 页码: 2,45-46
作者:
朱樟震
;
谢常青
|
收藏
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浏览/下载:17/0
|
提交时间:2010/05/25
同步辐射
X射线光刻
X射线掩模
侧墙工艺
同步辐射x射线光刻实验研究
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 1997, 期号: 6, 页码: 2
作者:
谢常青
;
陈梦真
;
赵玲莉
;
孙宝银
;
韩敬东
收藏
|
浏览/下载:17/0
|
提交时间:2015/12/25
同步辐射x射线光刻
x射线掩模
侧墙工艺
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