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• 上海光学精密机械研究... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 大数值孔径光刻照明光瞳偏振参数检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  汤飞龙 收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻  偏振光照明  偏振光检测  照明光瞳  Stokes参量   国际主流光刻机研发的最新进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2007, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 57, 64 袁琼雁; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1083/153  |  提交时间：2009/09/18 光刻机  双工件台技术  偏振光照明  折反式物镜  浸没式光刻  下一代光刻  lithographic tools  dual -stage technology  polarized illumination  catadioptric lens  immersion lithography  next generation lithography   浸没式光刻技术的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 8, 页码: 13, 20 袁琼雁; 王向朝; 施伟杰; 李小平 收藏  |  浏览/下载：1237/188  |  提交时间：2009/09/18 光刻  浸没式光刻  投影物镜  浸没液体  偏振光照明  气泡