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	深紫外光刻投影物镜温度特性研究期刊论文 OAI收割中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者: 姚长呈; 巩岩 \| 收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2017/09/17 光学制造光刻投影物镜温度分布模型仿真分析热像差
	自定义照明模式分辨力增强技术研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者: 江海波收藏 \| 浏览/下载：53/0 \| 提交时间：2015/07/30 光学光刻计算光刻光刻仿真分辨力增强技术照明模式光源掩模优化（SMO）
	极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者: 管文超收藏 \| 浏览/下载：112/0 \| 提交时间：2016/11/28 极紫外光刻掩模衍射场缺陷快速仿真计算米散射
	倾斜/旋转紫外光刻技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者: 何骏收藏 \| 浏览/下载：60/0 \| 提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻仿真模型 MEMS 衍射掩模优化
	高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者: 宋强收藏 \| 浏览/下载：346/0 \| 提交时间：2016/11/28 光学光刻光瞳整形光刻仿真衍射光学元件轴锥镜光学检测
	非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响期刊论文 OAI收割光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92 作者: 陈安; 林妩媚; 江海波收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2016/11/01 光刻仿真非理想照明光瞳偏心离轴照明
	倾斜/旋转紫外光刻技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 何凯收藏 \| 浏览/下载：47/0 \| 提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻仿真模型 MEMS 衍射
	照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 885, 890 郭立萍; 王向朝; 黄惠杰收藏 \| 浏览/下载：1186/201 \| 提交时间：2009/09/18 仪器光刻光刻仿真离轴照明光瞳非对称性
	光学光刻中的离轴照明技术期刊论文 OAI收割激光杂志, 2005, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 23, 25 郭立萍; 黄惠杰; 王向朝收藏 \| 浏览/下载：1562/244 \| 提交时间：2009/09/18 光学光刻离轴照明分辨率焦深 Profith仿真