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浏览/检索结果: 共23条,第1-10条 帮助

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接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  
张绍宇
  |  收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2021/06/16
复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  
司新春
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2017/01/06
基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者:  
佟军民;  胡松
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2016/11/23
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307
作者:  
司新春,佟军民,唐燕等
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2016/11/22
DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678
作者:  
冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/11/23
单幅圆条纹相位展开光刻对准研究 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 11, 页码: 141-146
作者:  
徐锋;  胡松
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2016/11/23
光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2013, 期号: 1, 页码: 0108002-1-5
作者:  
朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/23
一种数字光栅无掩模光刻对准方法 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 244-249
作者:  
唐路路;  胡松;  徐峰;  唐燕;  陈铭勇
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/11/23
叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 116-123
作者:  
朱江平;  胡松;  于军胜
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2016/11/23
基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172
作者:  
朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2016/11/23