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光电技术研究所 [18]
上海光学精密机械研究... [3]
微电子研究所 [2]
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OAI收割 [23]
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期刊论文 [14]
学位论文 [9]
发表日期
2021 [1]
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2014 [2]
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学科主题
光学工程 [1]
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接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:
张绍宇
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2021/06/16
接近接触式光刻
光刻对准
图像处理
复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
司新春
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2017/01/06
复合光栅,光刻,对准,莫尔条纹
基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计
期刊论文
OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者:
佟军民
;
胡松
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/23
掩模移动曝光技术
接近式光刻机
对准系统
对准精度
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307
作者:
司新春,佟军民,唐燕等
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/22
傅里叶光学
二维光栅
光刻对准
叠栅条纹
频谱
DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678
作者:
冯金花
;
胡松
;
李艳丽
;
何渝
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/23
无掩模光刻
数字光刻
数据管理
调焦
对准
单幅圆条纹相位展开光刻对准研究
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 11, 页码: 141-146
作者:
徐锋
;
胡松
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/23
信息光学
光刻
对准
相位展开
包裹相位
封闭条纹
极坐标
光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2013, 期号: 1, 页码: 0108002-1-5
作者:
朱江平
;
胡松
;
于军胜
;
唐燕
;
周绍林
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/23
光栅
掩模光栅
光刻对准
角度标定
叠栅条纹
一种数字光栅无掩模光刻对准方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 244-249
作者:
唐路路
;
胡松
;
徐峰
;
唐燕
;
陈铭勇
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/11/23
光栅
数字光栅
变频率光栅
无掩模光刻
对准方法
叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 116-123
作者:
朱江平
;
胡松
;
于军胜
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/11/23
测量
光刻对准
角位移
叠栅条纹
相位分析
基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172
作者:
朱江平
;
胡松
;
于军胜
;
唐燕
;
周绍林
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/23
光栅
光刻对准
反射式光路
叠栅条纹
光栅标记