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以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示 期刊论文  OAI收割
中国科学院院刊, 2020, 卷号: 35, 期号: 01, 页码: 112-117
作者:  余江;  刘佳丽;  甘泉;  李世光;  张越
  |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2021/01/16
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
  |  收藏  |  浏览/下载：133/0  |  提交时间：2020/08/24
新型光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:  何立文;  罗乐;  孟钢;  邵景珍;  方晓东
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2020/10/26
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
  |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/04/09
AlGaN基深紫外激光器材料的MOCVD生长研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
陈翔
收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2017/06/05
基于表面等离子体共振腔的超分辨成像方法研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  闫恺
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/05/31
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
  |  收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/04/09
基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2016/11/28
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/07/06
自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  江海波
收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2015/07/30