机构

• 长春光学精密机械与物... [3]
• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 1999 [1]
• 1998 [1]
• 1995 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 双工件台光刻机中的焦面控制技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 241-245 作者:  李金龙;  胡松;  赵立新 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/23 光学器件  光刻术  调平调焦  双工件台光刻机   全内反射全息微光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999 陈芬 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/11/19 全内反射全息术  全息微光刻  光刻技术   用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46 王占山; 刘毅楠; 曹健林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 接触式显微术  光刻胶  溶解速率   用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文  OAI收割 光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257 郭玉彬; 李福田; 唐九华; 李加; 慎微; 杜涌兴 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  近贴式  光刻胶  光刻术   激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 1995, 期号: 03, 页码: 313-319 郭玉彬; 李福田; 唐九华; 李加 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  激光等离子体  光刻术  光刻胶