机构

• 光电技术研究所 [2]
• 微电子研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [1]
• 2008 [1]
• 2001 [1]
• 1997 [2]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 兰州重离子储存环外靶实验终端时间投影室样机的研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2016 作者:  李贺 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/12/16 时间投影室  蒙特卡洛模拟  气体电子倍增器  全波形采样  激光刻度   X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354 作者:  龚学鹏;  卢启鹏 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射   标准单元可制造性分级 期刊论文  OAI收割 现代电子技术, 2008, 卷号: 31, 期号: 24, 页码: 3，34-36 作者:  张子文;  龚敏;  陈岚   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/27 可制造性 标准单元  权重  光刻模拟   用光瞳滤波技术提高投影成像系统光刻分辩率研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2001 康西巧 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2013/11/19 光刻  分辩率  焦深  光瞳滤波  模拟退火算法   微细图形光刻中的驻波效应研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1997 范建兴 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/11/19 驻波效应  抗蚀剂  计算机模拟  投影光刻   同步辐射X射线光刻计算机模拟研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1997, 期号: 3, 页码: 6，14-19 作者:  叶甜春;  谢常青   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  分辨率  同步辐射  计算机模拟  光刻