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Φ380mm薄镜面预应力研磨及检测研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 16, 页码: 168-175
作者:
姜自波
;
陈哲
;
焦晓洁
;
陈昆新
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提交时间:2022/03/31
光学制造
离轴非球面
接触式检测
拼接子镜
蓝牙
预应力研磨
光学镜面数控研抛加工路径研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
岳孝悌
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2021/09/22
光学制造
镜面加工
计算机控制光学表面成形
环带提取
路径规 划
先进光学制造专题导读
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 2-3
作者:
伍凡
;
戴一帆
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提交时间:2021/05/11
光学制造
先进光学制造技术
碳化硅反射镜
超高精度面形干涉检测技术进展
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 18-30
作者:
侯溪
;
张帅
;
胡小川
;
全海洋
;
吴高峰
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2021/05/11
先进光学制造
超精密光学
光学测量
面形检测
干涉检测
绝对检测
一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 13, 页码: 95-101
作者:
类维政
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提交时间:2021/03/29
测量
相位恢复
相位测量
镜面检测
光学检测
光学制造
变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142
作者:
张景文
;
范斌
;
李志炜
;
汉语
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提交时间:2021/05/11
光学制造
反应离子刻蚀
变结构腔室
流热场分布
滑移区稀薄气体
数值模拟
新型光刻技术研究进展
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:
何立文
;
罗乐
;
孟钢
;
邵景珍
;
方晓东
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提交时间:2020/10/26
激光技术
光学制造
新型光刻技术
无掩模光刻
掩模光刻
微纳结构
超快激光制孔辅助吹气优化的仿真与实验研究
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2018, 卷号: 42, 期号: 5, 页码: 583-587
作者:
李朋
;
贺斌
;
田东坡
;
康伟
;
焦悦
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提交时间:2018/12/05
光学制造
加工效率
辅助吹气
流场分析
磁流变抛光系统去除函数的原点位置标定
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 8-14
作者:
郑立功
;
李龙响
;
王孝坤
;
薛栋林
;
张学军
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提交时间:2018/04/09
光学制造
磁流变抛光
去除函数
原点标定
深紫外光刻投影物镜温度特性研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:
姚长呈
;
巩岩
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提交时间:2017/09/17
光学制造
光刻投影物镜
温度分布模型
仿真分析
热像差