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力学 [1]
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用于低温多晶硅制备的线光束整形系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 卷号: 44
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
王庆胜
;
褚状状
;
陈亮
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2020/11/23
激光技术
线光束整形
光束均匀性
准分子激光退火
低温多晶硅制备
波前分割DOE阵列半导体激光器光束的品字形整形
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 616-620
作者:
石振东
;
李淼峰
;
邱传凯
;
姚军
;
周崇喜
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/11/22
阵列衍射光学元件
LD光束整形
变发散角
均匀性
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167
作者:
赵阳
;
巩岩
;
赵阳
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/03/11
几何光学
非平行反射扩束单元
子光束叠加
照明均匀性
光刻机照明均匀化技术的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
肖艳芬
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浏览/下载:416/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机
照明系统
微透镜阵列
光束均匀化
均匀性检测
衍射光学元件实现多模激光光束整形的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
李媛媛
收藏
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浏览/下载:155/0
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提交时间:2014/12/11
多模激光
光束整形
阵列型DOE
均匀性
特定强度分布脉冲激光表面强化实验
期刊论文
OAI收割
材料热处理学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 106-111
作者:
孙培培
;
虞钢
;
王恒海
;
何秀丽
;
李少霞
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2012/04/01
脉冲激光
光束变换
激光强化
硬化层均匀性
宽频带激光的传输理论和应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:
彭润伍
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/28
宽频带激光
光束传输
带宽
匀滑效应
光束均匀性
色散
准分子激光应用若干关键技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:
李红霞
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
准分子激光
光束均匀性
等离子体开关
电光开关
准分子激光光束均匀性及线宽压缩研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2004
作者:
李红霞
收藏
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2016/11/28
准分子激光
光束均匀性
线宽压缩
大尺寸高质量光学玻璃均匀性的检测装置
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 1998, 期号: 06, 页码: 78-80
杨文库
;
邓文荣
;
杨宇晶
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2013/03/11
干涉仪:6683
检测装置:4375
光学玻璃:3341
光学均匀性:3078
大尺寸:2521
干涉条纹:2248
高质量:1290
主反射镜:995
球面反射镜:887
多光束:824