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浏览/检索结果: 共32条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15 作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格   |  收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2020/08/24 凸面闪耀光栅  摆动刻蚀  衍射效率  成像光谱仪   高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  沈晨   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/09/23 曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC   用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596 作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/09/17 衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差   二次布拉格角入射下深刻蚀亚波长光栅的简化模式分析 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  孙竹梅 收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2016/11/28 严格耦合波方法  简化模式方法  光栅分束器的归一化设计  二次布拉格角入射  深刻蚀亚波长光栅   痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502 作者:  王军 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/07/06 截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅   硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率   反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243 作者:  谭鑫 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/07/06 衍射效率  反应离子束刻蚀  粗糙度  罗兰光栅   宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983 作者:  吴娜;  谭鑫;  于海利;  张方程 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 全息光栅  宽波段光栅  离子束刻蚀  刻蚀模拟   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀   离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632 吴娜 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/04/17 衍射效率  刻蚀模拟  全息光栅