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学科主题

• 半导体器件 [1]

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浏览/检索结果: 共20条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格   |  收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2018/04/09 光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计   扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/04/09 光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦   干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343 作者:  宋莹 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17 光栅  光栅曝光  数值计算  条纹相位变化  曝光对比度  掩模槽形   扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183 作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差   自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124 作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  赵旭龙;  杨硕;  吴娜 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2016/07/06 自由电子激光器  平面变栅距光栅  全息曝光  刻线密度误差  分辨能力   扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64 作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀   平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 241-247 作者:  姜岩秀;  韩建;  李文昊;  巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/07/06 分光光栅  棱镜  空间相位差  曝光系统  稳定性   全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院大学, 2014 宋莹 收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2015/05/03 全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  AOM   扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差