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长春光学精密机械与物... [3]
光电技术研究所 [2]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [3]
发表日期
2022 [1]
2016 [1]
2009 [1]
2007 [1]
2002 [1]
1999 [1]
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全息微立体光刻方法研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学: 中国科学院大学, 2022
作者:
王虎
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浏览/下载:74/0
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提交时间:2022/06/16
计算全息
空间光调制器
斜面光刻
曲面光刻
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:
高松涛
;
武东城
;
于长淞
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浏览/下载:59/0
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提交时间:2017/09/17
测量
计算全息图
非球面
投影光刻物镜
衍射鬼像
干涉仪
基于共振效应的亚波长光学及其应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
麻健勇
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2016/11/28
导模共振
多通道效应
表面等离子体共振
全息光刻
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2007, 期号: 1
李文昊
;
巴音贺希格
;
齐向东
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/09/25
全息光栅
光刻胶热熔法
离子束刻蚀
原子力显微镜
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:
卢振武
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2013/03/11
激光直写
衍射光学元件
计算全息图和光刻
全内反射全息微光刻技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999
陈芬
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2013/11/19
全内反射全息术
全息微光刻
光刻技术