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合肥物质科学研究院 [6]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2019 [1]
2017 [2]
2016 [1]
2015 [1]
2013 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
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准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2019, 卷号: 036
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
陈星
;
邵景珍
;
陈亮
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2020/11/25
薄膜
多晶硅
准分子激光退火
能量密度
搭接率
线形光束
用于低温多晶硅制备的线光束整形系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 卷号: 44
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
王庆胜
;
褚状状
;
陈亮
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2020/11/23
激光技术
线光束整形
光束均匀性
准分子激光退火
低温多晶硅制备
氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54
作者:
邵景珍
;
王玺
;
胡红涛
;
方晓东
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
薄膜
准分子激光退火
有限元分析
热效应
用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2016, 卷号: 040
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
方晓东
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
平板显示
准分子激光退火
低温多晶硅
光束整形
匀光
非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2015, 卷号: 044
-
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2020/10/26
准分子激光退火
非晶硅薄膜
多晶硅
能量密度
脉冲次数
0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2013, 卷号: 025
作者:
赵家敏
;
游利兵
;
余吟山
;
方晓东
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2020/11/23
准分子激光器
激光退火
大能量
磁脉冲压缩