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机构
长春光学精密机械与... [13]
采集方式
OAI收割 [13]
内容类型
期刊论文 [12]
学位论文 [1]
发表日期
2018 [1]
2017 [1]
2015 [1]
2014 [1]
2012 [1]
2002 [1]
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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
糜小涛
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2019/09/23
衍射光栅
光栅刻划机
微定位系统
控制器设计
刻线误差
测量系统
余弦误差
阿贝误差
大气折射率
衍射波前
基底面形误差
镀膜均匀性
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:
糜小涛
;
于海利
;
于宏柱
;
齐向东
;
李晓天
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2018/04/09
衍射光栅
阿贝误差
衍射波前
刻线位置误差
刻划机
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:
杨超
;
于海利
;
张善文
;
于宏柱
;
李晓天
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2016/07/06
光栅
刻划光栅
光栅波前
刻线位置误差
转角误差
压电驱动器
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
杨超
;
于海利
;
冯树龙
;
李晓天
;
齐向东
;
姜珊
;
唐玉国
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2015/04/17
刻划刀架
刻划光栅
刻线弯曲
刻线位置误差
光栅光谱
利用修正板实现光栅刻划机刀架等速运动
期刊论文
OAI收割
机械设计, 2012, 期号: 04, 页码: 52-55
陈科位
;
冯树龙
;
朱继伟
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/03/11
光栅刻划机
等速修正板
误差分析
常角法检测圆分度刻划误差谐量失真的研究
期刊论文
OAI收割
计量技术, 2002, 期号: 10, 页码: 3-6
张红胜
;
杨进堂
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/03/11
圆分度
刻划误差
常角法
误差谐量失真
圆分度误差曲线的直观功效
期刊论文
OAI收割
计量技术, 2001, 期号: 01, 页码: 23-25
冯长有
;
张红胜
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/03/11
圆分度
刻划误差
笔录曲线
数据采集
光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 482-486
张红胜
;
冯长有
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/03/11
圆光栅
刻划误差
常角法
光学码盘的检验
期刊论文
OAI收割
计量技术, 1999, 期号: 10, 页码: 25-27
张红胜
;
杨进堂
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/03/11
光学码盘
刻划误差
均匀性误差
码道关系误差
含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 97-101
杨进堂
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提交时间:2013/03/11
圆光栅
周期性误差
刻划误差检测