机构

• 长春光学精密机械与... [17]
• 上海光学精密机械研究... [9]
• 上海微系统与信息技术... [4]
• 微电子研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [32]

内容类型

• 期刊论文 [19]
• 学位论文 [11]
• 会议论文 [1]
• 成果 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2018 [2]
• 2016 [1]
• 2015 [5]
• 2014 [2]
• 2013 [1]
• 更多

学科主题

• 光栅 [1]
• 全息技术；仪器仪表基... [1]

筛选

浏览/检索结果: 共32条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15 作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格   |  收藏  |   高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  沈晨   |  收藏  |   用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596 作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东   |  收藏  |   二次布拉格角入射下深刻蚀亚波长光栅的简化模式分析 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  孙竹梅 收藏  |   痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502 作者:  王军 收藏  |   硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394 作者:  焦庆斌 收藏  |   反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243 作者:  谭鑫 收藏  |   宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983 作者:  吴娜;  谭鑫;  于海利;  张方程 收藏  |   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |   离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 628-632 吴娜 收藏  |