机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2005 [1]
• 1997 [1]
• 1996 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 5，236-239,244 作者:  王巍;  叶甜春;  陈大鹏;  刘明;  李兵   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26 等离子体  刻蚀工艺  终点检测  Oes  Iep   等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96 米宝永 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法   大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80 米宝永 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点