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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2010 [1]
• 2008 [1]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 相变材料的化学机械抛光工艺研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 钟旻 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 相变存储器  Ge2Sb2Te5  化学机械抛光工艺  Si2Sb2Te5  工艺集成   冰洲石晶体的化学机械抛光研究 期刊论文  OAI收割 机械工程师, 2008, 期号: 8 王海鹏; 王永宪; 王善军; 薛军 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/09/25 冰洲石  化学机械抛光  工艺技术  性能测试   硅材料加工工艺分析及相关化学品的研究 会议论文  OAI收割 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004 张楷亮; 宋志棠; 刘玉岭 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2012/01/18 半导体硅材料 集成电路工艺 切片 化学机械抛光 清洗