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机构
上海微系统与信息技术... [6]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
会议论文 [3]
期刊论文 [3]
成果 [1]
发表日期
2005 [4]
2004 [1]
2003 [2]
学科主题
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共7条,第1-7条
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膜显色DNA芯片技术检测丙型肝炎病毒基因型及临床意义
期刊论文
OAI收割
江苏医药, 2005, 期号: 06
王永忠
;
毛红菊
;
周国平
;
吴国祥
;
赵建龙
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提交时间:2012/01/06
超大规模集成电路
化学机械抛光
纳米
抛光液
全局平坦化
硅衬底超精密CMP中抛光液的研究
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
钟旻
;
张楷亮
;
宋志棠
;
封松林
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/18
化学机械抛光 胶体SiO2 抛光速率 抛光液
半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
张楷亮
;
宋志棠
;
钟晻
;
郑鸣捷
;
刘卫丽
;
封松林
;
董尧德
;
汪贵发
;
楼春兰
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浏览/下载:86/0
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提交时间:2012/01/18
硅晶片 双面抛光 化学机械抛光 抛光液
Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究
会议论文
OAI收割
第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005
刘奇斌
;
张楷亮
;
王良咏
;
封松林
;
宋志棠
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/01/18
Ge2Sb2Te5 相变存储器 化学机械抛光 电化学 抛光液
改性介孔二氧化硅/有机大分子复合磨料及其化学机械抛光液的制备
成果
OAI收割
2004
张劲松
;
张军旗
;
杨永进
;
曹小明
;
刘强
;
李明天
;
梁燕
;
杨振明
;
谢素箐
;
江小平
;
张革
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提交时间:2013/07/24
复合磨料
化学机械抛光液
球磨法制备锂金属氮化物及电化学性能研究
期刊论文
OAI收割
无机材料学报, 2003, 期号: 04
王可
;
杨军
;
解晶莹
;
刘宇
;
王保峰
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/01/06
化学机械抛光
平坦化
薄膜
特大规模集成电路
抛光液
一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统
期刊论文
OAI收割
自动化仪表, 2003, 期号: 05
马明前
;
谢日阳
;
陈士清
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提交时间:2012/01/06
超大规模集成电路
化学机械抛光
铜
抛光液
多层互连