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沈阳自动化研究所 [5]
上海微系统与信息技术... [2]
力学研究所 [1]
过程工程研究所 [1]
上海应用物理研究所 [1]
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OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
2022 [1]
2012 [5]
2011 [1]
2008 [1]
2006 [1]
2004 [1]
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SMAT技术制备梯度纳米孪晶结构及其腐蚀行为研究
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 06, 页码: 973-978
作者:
陈婷婷
;
武晓雷
;
韩培德
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CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
王亮
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基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311
作者:
胡静涛
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CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
作者:
王亮
;
胡静涛
收藏
  |  
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法
期刊论文
OAI收割
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
作者:
胡静涛
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基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
作者:
王亮
;
胡静涛
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固态反应的太赫兹时域光谱研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2011
刘晓鸿
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  |  
均一尺寸CeO2颗粒的合成方法及其在光学抛光中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士, 过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2008
王奇
收藏
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CMP纳米抛光液及抛光工艺相关技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
张楷亮
收藏
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防锈油膜在5% Na_2SO_4溶液中的半导体导电行为
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2004, 期号: 05
钟庆东
;
郑金
;
徐乃欣
;
印仁和
;
周国定
收藏
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