机构

• 沈阳自动化研究所 [5]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 力学研究所 [1]
• 过程工程研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2022 [1]
• 2012 [5]
• 2011 [1]
• 2008 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]
• 更多

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 SMAT技术制备梯度纳米孪晶结构及其腐蚀行为研究 期刊论文  OAI收割 中国腐蚀与防护学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 06, 页码: 973-978 作者:  陈婷婷;  武晓雷;  韩培德   |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2022/11/14 超级奥氏体不锈钢  表面机械研磨  梯度结构  纳米孪晶  电化学腐蚀   CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 王亮 收藏  |  浏览/下载：329/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  化学机械研磨  Run-to-Run控制  预测控制  过程控制   基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/10/24 化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化   CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593 作者:  王亮;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  R2R控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制   基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文  OAI收割 计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  T-S模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择   基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314 作者:  王亮;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/10/24 化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-Run控制   固态反应的太赫兹时域光谱研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院, 2011 刘晓鸿 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/08/15 太赫兹时域光谱  机械力研磨  固态化学反应  固态共晶反应   均一尺寸CeO2颗粒的合成方法及其在光学抛光中的应用研究 学位论文  OAI收割 博士, 过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2008 王奇 收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2013/09/13 CeO2  粒度  控制合成  化学机械研磨   CMP纳米抛光液及抛光工艺相关技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 张楷亮   收藏  |  浏览/下载：222/0  |  提交时间：2012/03/06 化学机械抛光  纳米研磨料  硅衬底  Ge-Sb-Te  电化学  湿法刻蚀     防锈油膜在5% Na_2SO_4溶液中的半导体导电行为 期刊论文  OAI收割 腐蚀科学与防护技术, 2004, 期号: 05 钟庆东; 郑金; 徐乃欣; 印仁和; 周国定 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 超大规模集成电路  化学机械抛光  纳米研磨料  硅溶胶  大粒径