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机构
电子学研究所 [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [3]
会议论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2008 [1]
2006 [2]
学科主题
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共4条,第1-4条
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基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器
会议论文
OAI收割
中国仪器仪表学会第六届青年学术会议, 2004
武宇
;
赵湛
;
方震
;
张博军
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/09/04
集成传感器
MEMS
聚酰亚胺
湿度
温度
压力
加工工艺
基于MEMS的高精度气压传感器的研制
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2008
庞程
收藏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2011/07/19
MEMS 压力传感器 集成传感器 粘性键合
SU-8
聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
曾欢欢
收藏
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2011/07/19
聚酰亚胺
集成传感器
湿度
压力
集成温度压力传感器应用研究--轮胎压力监控系统
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
王奇
收藏
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浏览/下载:129/0
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提交时间:2011/07/19
轮胎压力监控系统
温度
压力集成传感器
MEMS
温度补偿
低功耗
使用寿命