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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助

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基于水蚀预报模型的黄土高原水平阶减流阻蚀效应模拟 期刊论文  OAI收割
生态学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 14, 页码: 5067-5077
作者:  任柯蒙;  卫伟;  赵西宁;  冯天骄;  陈蝶
  |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2019/03/14
少模垂直腔面发射激光器及优化台面排布的面发射激光阵列的研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  钟础宇
  |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/09/23
基于水蚀预报模型的黄土高原水平阶减流阻蚀效应模拟 期刊论文  OAI收割
生态学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 14, 页码: 5067-5077
作者:  任柯蒙;  卫伟;  赵西宁;  冯天骄;  陈蝶
  |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2022/02/22
非对称电流注入对矩形台面激光器的偏振分析 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 150-154
作者:  李秀山;  宁永强;  崔锦江;  张星;  贾鹏
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/07/06
浅面浮雕矩形台面垂直腔面发射半导体激光器 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2014, 期号: 12, 页码: 28-33
作者:  张星;  贾鹏;  宁永强;  王立军;  秦莉
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/04/17
微型铷原子钟专用795nm垂直腔表面发射激光器 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 1, 页码: 50-57
作者:  张星;  宁永强;  王立军;  曾玉刚
收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2015/04/17
增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2013, 期号: 05, 页码: 6-13
作者:  张星;  秦莉;  曾玉刚;  宁永强;  王立军
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/03/07
碲镉汞微台面干法隔离的ICP技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  周文洪
  |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/08/22
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
基于TNT敏感聚合物的纳米阵列结构的制备与性质 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 02
陈磊; 朱德峰; 程建功; 赵建龙
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06