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• 上海微系统与信息技术... [2]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2007 [1]
• 1995 [1]
• 1994 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 249-251 庞程; 赵湛; 杜利东 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/05/19 电容压力传感器  各向异性腐蚀  阳极键合  反应离子深刻蚀   反应离子深刻蚀硅的研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 1995, 期号: 03 姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 反应离子刻蚀  各向异性深刻蚀  侧壁保护机制  刻蚀速率   SF_6／CCl_2F_2反应离子深刻蚀硅中加O_2的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1994, 期号: 04 姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 反应离子刻蚀  各向异性深刻蚀硅  聚合物掩蔽膜  蚀刻速率  蚀刻形貌