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微电子研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
光电技术研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2012 [1]
2010 [1]
2003 [1]
2000 [1]
1998 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 229-233
作者:
朱江平
;
胡松
;
于军胜
;
陈铭勇
;
何渝
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/11/23
图像处理
图形曝光
图形拼接
无掩模光刻
数字微镜
灰度调制
增强MIMO OFDM无线通信仿真
期刊论文
OAI收割
系统仿真学报, 2010, 期号: 08
杨秀梅
;
熊勇
;
贾国庆
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/01/06
扫描电子显微镜(SEM)
电子束曝光(EBL)
图形发生器
纳米结构
电子束曝光UV3正性抗蚀剂的工艺研究
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2003, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 5,485-489
作者:
刘明
;
殷华湘
;
王云翔
;
徐秋霞
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/05/25
电子束曝光
凹槽图形 Uv3
正性抗蚀剂
曝光延迟效应
光刻
振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 02, 页码: 115-119
万志
;
杜温锡
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2013/03/11
振镜扫描
图形畸变
曝光量补偿
超微细图形加工技术进展
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术, 1998, 卷号: 18, 期号: 2, 页码: 12,83-94
作者:
田如江
;
马俊如
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2010/05/25
光刻
电子束曝光
纳米加工
超微细图形