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	基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 翟雷应收藏 \| 浏览/下载：74/0 \| 提交时间：2013/04/24 MEMS Fabry-Perot腔可调滤波器光纤相位调制器无交叠垂直梳齿驱动器
	基于MEMS微镜的可调光学衰减器期刊论文 OAI收割光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291 刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明收藏 \| 浏览/下载：57/0 \| 提交时间：2013/02/22 可调光衰减器(VOA) 微光机电系统(MEMS) 微镜垂直梳齿驱动器
	无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS) 光相位调制器无交叠垂直梳齿驱动器平动微镜保角变换法静电驱动
	基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器期刊论文 OAI收割光电子.激光, 2012, 期号: 9, 页码: 1635-1643 翟雷应; 徐静; 吴亚明; 刘闯; 雷洪波; 陶大勇收藏 \| 浏览/下载：51/0 \| 提交时间：2013/02/22 光纤相位调制器 MEMS 垂直梳齿微镜光纤传感器
	基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2011, 期号: 03 肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2012/04/13 蛇形曲折梁塑性变形垂直驱动静电梳齿驱动器
	基于Si塑性变形的二维驱动器的设计期刊论文 OAI收割半导体技术, 2011, 期号: 08 陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/04/13 二维驱动器塑性变形绝缘填充槽梳齿驱动垂直位错
	基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010 肖育华收藏 \| 浏览/下载：128/0 \| 提交时间：2012/03/06 蛇形曲折梁塑性变形垂直驱动静电梳齿驱动器
	不同材质微芯片内细胞生长状态分析期刊论文 OAI收割生物物理学报, 2008, 期号: 04 邵建波; 吴蕾; 赵辉; 郑允焕; 吴建璋; 金庆辉; 赵建龙收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统集成式微型xy定位平台静电梳齿致动器面内垂直侧壁表面压阻
	基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007 池积光收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/03/06 梳齿驱动垂直驱动塑性变形自对准 KOH各向异性腐蚀