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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏

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月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文 OAI收割
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者: 王彤彤; 陈波; 高劲松; 刘震; 王笑夷

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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文 OAI收割
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者: 刘震; 陈波

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Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文 OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者: 陈波; 尼启良

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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量 期刊论文 OAI收割
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者: 金春水

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宽角度X射线超反射镜的设计 期刊论文 OAI收割
光子学报, 2003, 期号: 02, 页码: 253-256
张众; 王占山; 秦树基; 王凤丽; 陈玲燕

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X射线超反射镜设计 期刊论文 OAI收割
光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 49-54
张众; 王占山; 王风丽; 秦树基; 陈玲燕

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极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文 OAI收割
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者: 金春水

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长波长软X射线多层膜的设计与制备 期刊论文 OAI收割
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
王国田

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软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文 OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者: 金春水

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