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• 长春光学精密机械与... [19]

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浏览/检索结果: 共19条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦   |  收藏  |   月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286 作者:  王彤彤;  陈波;  高劲松;  刘震;  王笑夷 收藏  |   23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141 作者:  刘震;  陈波 收藏  |   Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41 作者:  陈波;  尼启良 收藏  |   中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812 作者:  金春水 收藏  |   宽角度X射线超反射镜的设计 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2003, 期号: 02, 页码: 253-256 张众; 王占山; 秦树基; 王凤丽; 陈玲燕 收藏  |   X射线超反射镜设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 49-54 张众; 王占山; 王风丽; 秦树基; 陈玲燕 收藏  |   极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857 作者:  金春水 收藏  |   长波长软X射线多层膜的设计与制备 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11 王国田 收藏  |   软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70 作者:  金春水 收藏  |