机构

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采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [7]

发表日期

• 2018 [1]
• 2014 [3]
• 2013 [1]
• 2011 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 光学薄膜 [1]

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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文  OAI收割 长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30 作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/09/17 薄膜光学  薄膜表征  掠入射X射线反射  云模型量子进化算法  极紫外多层膜  单层膜   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/25 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 905002 作者:  刘晓雷;  李思坤 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28 衍射  极紫外光刻  多层膜模型  单平面近似   极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372 作者:  卢启鹏;  龚学鹏;  彭忠琦 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/03/07 光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子   基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225 作者:  李春;  金春水;  喻波 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/03/11 薄膜  Mo/Si多层膜  扩散系数  掠入射X射线反射谱  四层模型  极紫外   周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193 秦俊岭; 易葵; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：974/95  |  提交时间：2009/09/22 余弦模型  梯度折射率  多层膜  软X射线反射率