机构

• 电子学研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2016 [2]
• 2003 [1]

学科主题

• 传感器 [2]
• Sensor [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2016/06/02 谐振式压力传感器  大量程  阳极键合  SOI背孔引线  温度自补偿   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80 作者:  王淑荣;  梁静秋;  张平;  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 双转子  平面微电机  定子  孔引线  准LIGA技术