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CF_4射频容性耦合等离子体对硅橡胶表面双疏改性的研究 期刊论文  OAI收割
功能材料, 2009, 期号: 1, 页码: 79-81
高松华; 闻立时; 周克省; 刘洋; 雷明凯
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/04/12
CF4射频容性耦合等离子体对硅橡胶表面双疏改性的研究 期刊论文  OAI收割
功能材料, 2009, 卷号: 40.0, 期号: 1.0, 页码: 79-81
作者:  
高松华;  闻立时;  周克省;  刘洋;  雷明凯
  |  收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2021/02/26
容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究 期刊论文  OAI收割
真空科学与技术, 2002, 卷号: 022
作者:  
Teuner D;  黄建军;  刘正之;  梁荣庆
  |  收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2020/10/26