机构

• 光电技术研究所 [2]
• 微电子研究所 [2]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2009 [1]
• 2004 [2]
• 2000 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割 制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者:  佟军民;  胡松 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术  接近式光刻机  对准系统  对准精度   ITER遥控转运车对准系统的设计 期刊论文  OAI收割 核聚变与等离子体物理, 2009, 卷号: 000 -   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2020/10/26 ITER  转运车  对准系统  托架   用于X射线光刻对准的图像边缘增强技术 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2004, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 426-431 作者:  谢常青;  王德强;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  对准系统  拉普拉斯算法  索贝尔算法   X射线光刻对准边缘增强技术及性能研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 2, 页码: 17-22 作者:  王德强;  谢常青;  叶甜春;  刘业异;  胡松   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  对准系统  拉普拉斯算子  识别精度  对准精度   高精度视频图像对准系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 杨维全 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/11/19 数字图像处理  改进的亚像素定位  VC＋＋编程  光刻机对准系统