机构

• 过程工程研究所 [2]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2021 [1]
• 2015 [1]
• 2012 [3]

学科主题

• Sensor [1]
• Vacuum [1]
• 传感器 [1]
• 真空电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 废弃油脂加氢脱氧在Ni@Zeolite双功能封装催化剂的研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院过程工程研究所, 2021 作者:  高琛   |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2023/06/25 棕榈酸,双功能封装催化剂,Ni纳米颗粒,加氢脱氧,烷烃选择性   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：195/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   封装PCM陶瓷储热材料的性能 期刊论文  OAI收割 储能科学与技术, 2012, 期号: 02, 页码: 123-130 冷光辉; 吴建锋; 徐晓虹 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2014/08/27 储热材料  红柱石蜂窝陶瓷  显热-潜热复合储热  封装剂  高温高效