机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 青海盐湖研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2010 [1]
• 2008 [1]
• 2002 [1]
• 1996 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 ICP光源中射频功率测量装置的设计 期刊论文  OAI收割 化工自动化及仪表, 2010, 期号: 5 作者:  石宝松;  王超 收藏  |   ICP等离子体刻蚀系统射频偏压的实验研究 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 5, 页码: 4，980-983 作者:  张庆钊;  谢常青;  刘明;  李兵;  朱效立   |  收藏  |   射频ICP离子源设计研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 -   |  收藏  |   3520ICP发射光谱仪维修二例 期刊论文  OAI收割 分析测试技术与仪器, 1996, 期号: 1, 页码: 52-53 房毅卓; 原力 收藏  |