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	ICP光源中射频功率测量装置的设计期刊论文 OAI收割化工自动化及仪表, 2010, 期号: 5 作者: 石宝松; 王超收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/09/25 ICP光源功率测量射频
	ICP等离子体刻蚀系统射频偏压的实验研究期刊论文 OAI收割半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 5, 页码: 4，980-983 作者: 张庆钊; 谢常青; 刘明; 李兵; 朱效立 \| 收藏 \| 浏览/下载：56/0 \| 提交时间：2010/05/27 等离子体射频偏压 Icp 干法刻蚀
	射频ICP离子源设计研究期刊论文 OAI收割真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 - \| 收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2020/10/26 射频ICP 离子源设计射频匹配网络感应耦合等离子体离子流均匀性中性化
	3520ICP发射光谱仪维修二例期刊论文 OAI收割分析测试技术与仪器, 1996, 期号: 1, 页码: 52-53 房毅卓; 原力收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2012/12/19 ICP发射光谱仪:8831 射频功率放大器:2611 光电倍增管:2384 高压直流电源:1702 维修:1453 射频电源:1251 射频发生器:966 耦合电阻:907 中国科学院:767 电感耦合等离子:756