机构

• 电子学研究所 [2]
• 微电子研究所 [2]
• 长春应用化学研究所 [2]
• 重庆绿色智能技术研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [3]

发表日期

• 2014 [1]
• 2013 [1]
• 2012 [1]
• 2006 [3]
• 2004 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构 期刊论文  OAI收割 影像科学与光化学, 2014, 期号: 6, 页码: 542-549 作者:  贾雁鹏;  郑美玲;  董贤子;  赵震声;  段宣明   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/03/16 双光子微纳加工技术  化学镀  三维金属微纳米结构   非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013 作者:  柯曦 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/09/14 软刻蚀技术  “蘸笔”纳米加工技术  微米阵列   硅基微纳复合降噪与电能转换器件的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 吴少华 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/08 微电子机械系统  微米纳米复合加工技术  硅基微纳米降噪  微纳系统能量自收集  降噪与能量收集复合器件   光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6 作者:  陈宝钦;  刘明;  徐秋霞;  薛丽君;  李金儒   |  收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2010/05/26 微光刻技术  微纳米加工技术  电子束直写  匹配与混合光刻技术   微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用 期刊论文  OAI收割 物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 47-50 作者:  刘明;  陈宝钦;  谢常青;  王丛舜;  龙世兵   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2010/05/26 纳米加工  纳米器件  微纳加工技术  光学光刻技术   基于微纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 2149-2152 许媛媛; 边超; 陈绍凤; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/05/19 微/纳米加工技术  微型电化学免疫传感器  微电子机械系统(MEMS)  抗体   纳米结构的构建与表征 学位论文  OAI收割 博士, 长春应用化学研究所: 中国科学院长春应用化学研究所, 2004 周化岚 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2011/01/17 扫描探针显微镜  扫描探针加工技术  纳米结构  表面增强拉曼光谱