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长春光学精密机械与物... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
2002 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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光反射法微摩擦测试仪
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 2005, 期号: 14, 页码: 1299-1302
作者:
吴一辉
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提交时间:2013/03/11
MEMS
微摩擦测试
光反射法
硅传感器
线阵CCD
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:
张平
;
吴一辉
;
王淑荣
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
MEMS
微摩擦测试
微力传感器
微摩擦测试仪力传感器的研究
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2002, 期号: 04, 页码: 388-391
作者:
李锋
;
吴一辉
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/03/11
MEMS
微摩擦测试
力传感器
结构设计