机构

• 上海微系统与信息技... [17]
• 长春光学精密机械与物... [4]
• 高能物理研究所 [4]
• 金属研究所 [2]
• 软件研究所 [2]
• 国家空间科学中心 [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [35]

内容类型

• 期刊论文 [26]
• 学位论文 [5]
• 会议论文 [2]
• 成果 [2]

发表日期

• 2018 [1]
• 2011 [2]
• 2010 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [3]
• 2006 [2]
• 更多

学科主题

• 空间技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共35条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2018, 卷号: 035 作者:  何立文;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2020/11/25 激光技术  准分子激光微加工  集成芯片3D封装  微机电系统材料微加工   基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能   基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 10 张缓缓; 刘彬; 金庆辉; 刘咏松 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/13 微机电系统技术  Ag/AgCl参比电极  集成微电极  水质监测   基于MEMS技术的PCR扩增器的研究与发展 会议论文  OAI收割 99'中国生物医学电子学学术年会, 1999 赵湛; 崔大付 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/09/04 聚合酶链反应扩增器  微机械电子系统  生物信息技术  PCR扩增器  基因克隆   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   基于TinyOS的无线传感器网络构建 期刊论文  OAI收割 单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07 肖建荣; 钱建生; 王营冠; 陆晔顼 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  压阻  碰撞  加速度计   微机械陀螺结构形状自组织优化方法 期刊论文  OAI收割 机械工程学报, 2007, 期号: 07 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  三轴加速度计  压阻  高g  塑封   一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2007, 期号: 03 卢云; 徐志农; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池  硅微机械  阳极流场  燃料利用率  MEMS技术   百瓦级新型金属双极板PEM燃料电池堆研制 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2006, 期号: 02 王东; 张伟; 刘向; 夏保佳; 李国欣 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)  微机电系统(MEMS)技术  单晶硅片   基于FPGA的卫星遥测遥控通道设计与实现 期刊论文  OAI收割 航空计算技术, 2006, 期号: 05 谢胜民; 杨根庆 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 电子技术  微机电系统  光学电流传感器  扭转微镜  双光纤准直器