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	CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究期刊论文 OAI收割浙江大学学报(工学版), 2011, 期号: 06 徐德辉; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/04/13 微机械热电堆红外探测器探测器阵列 CMOS兼容
	磷酸铁锂电池低温性能的研究期刊论文 OAI收割华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 谢晓华; 张建; 李佳; 刘浩涵; 夏保佳收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/01/06 探测器微机械热电堆红外探测器自对准 CMOS兼容微机电系统
	CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究会议论文 OAI收割第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2012/01/18 微机械热电堆红外探测器热电偶材料多晶硅结构支撑膜干法各向同性硅腐蚀工艺
	热堆红外探测器模型的建立会议论文 OAI收割第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 刘月英; 沈德新收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2012/01/18 热电偶微电子微机械红外辐射热电堆传感器
	硅铝结构热堆红外探测器学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2003 刘月英收藏 \| 浏览/下载：51/0 \| 提交时间：2012/03/06 探测器:5192 热电堆:4265 内应力:3094 各向异性腐蚀:2782 反射层:2690 半导体集成:2686 Si_3N_4:2662 微机械器件:2435 微机械加工:2241 硅膜:2241