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140单元MEMS变形镜研制及测试分析
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者:
汪为民
;
王强
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2019/08/23
微机电系统
变形镜
自适应光学
静电驱动器
电极化对FBAR应力负载效应影响的分析
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369
作者:
文数文
;
王宇航
;
高杨
;
张大鹏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2019/09/24
微机电系统
力学传感器
薄膜体声波谐振器
应力负载效应
电极化效应
解析模型
MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745
作者:
庄须叶
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/12/04
微机电系统(Mems)
固体波动陀螺仪
超高q值
单晶金刚石
3d超精密加工
准分子激光微加工应用研究进展
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:
何立文
;
方晓东
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
准分子激光微加工
集成芯片3D封装
微机电系统材料微加工
大鼠脑基底节神经环路多巴胺及神经电微纳电极阵列研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
杨丽丽
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提交时间:2017/06/07
微机电系统
微纳电极阵列
多巴胺
动作电位
丘脑底核电刺激
高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2017
孙振源
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2017/06/07
地震检波器
电化学
微机电系统
宽频带
低噪声
新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:
张轲
;
苗斌
;
丁祥桢
;
顾智琦
;
潘天龙
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/04/09
高频硅基超声雾化器
有限元分析
谐振频率
变幅杆
微机电系统
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:
李加东
;
张轲
;
吴东岷
;
苗斌
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提交时间:2017/09/17
力值计量
悬臂梁
弹性系数
微机电系统
绝缘衬底上的硅(Soi)
基于微纳技术的离体神经信号检测研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王力
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/06/28
微电极阵列
离体检测
电化学
微机电系统
多巴胺
石墨烯
自组装静电驱动微机电系统倾斜镜(英文)
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2015, 期号: 2, 页码: 146-150
作者:
王强
;
汪为民
;
邱传凯
;
于军胜
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/22
倾斜镜
微机电系统
静电驱动
自组装