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140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者:  
汪为民;  王强
  |  收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2019/08/23
电极化对FBAR应力负载效应影响的分析 期刊论文  OAI收割
压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369
作者:  
文数文;  王宇航;  高杨;  张大鹏
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2019/09/24
MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745
作者:  
庄须叶;  江南;  易剑;  张军安;  郭述文
  |  收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2018/12/04
准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文  OAI收割
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:  
何立文;  方晓东
  |  收藏  |  浏览/下载:52/0  |  提交时间:2020/11/25
大鼠脑基底节神经环路多巴胺及神经电微纳电极阵列研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
杨丽丽
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2017/06/07
高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2017
孙振源
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2017/06/07
新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文  OAI收割
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:  
张轲;  苗斌;  丁祥桢;  顾智琦;  潘天龙
  |  收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/04/09
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:  
李加东;  张轲;  吴东岷;  苗斌
  |  收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2017/09/17
基于微纳技术的离体神经信号检测研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
王力
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/06/28
自组装静电驱动微机电系统倾斜镜(英文) 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2015, 期号: 2, 页码: 146-150
作者:  
王强;  汪为民;  邱传凯;  于军胜
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2016/11/22