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浏览/检索结果: 共121条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9 作者:  汪为民;  王强   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/08/23 微机电系统  变形镜  自适应光学  静电驱动器   电极化对FBAR应力负载效应影响的分析 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369 作者:  文数文;  王宇航;  高杨;  张大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/09/24 微机电系统  力学传感器  薄膜体声波谐振器  应力负载效应  电极化效应  解析模型   MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745 作者:  庄须叶;  江南;  易剑;  张军安;  郭述文   |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2018/12/04 微机电系统(Mems)  固体波动陀螺仪  超高q值  单晶金刚石  3d超精密加工   准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2018, 卷号: 035 作者:  何立文;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2020/11/25 激光技术  准分子激光微加工  集成芯片3D封装  微机电系统材料微加工   大鼠脑基底节神经环路多巴胺及神经电微纳电极阵列研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 杨丽丽 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/06/07 微机电系统  微纳电极阵列  多巴胺  动作电位  丘脑底核电刺激   高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2017 孙振源 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/06/07 地震检波器  电化学  微机电系统  宽频带  低噪声   新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2017, 页码: 260-264 作者:  张轲;  苗斌;  丁祥桢;  顾智琦;  潘天龙   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/04/09 高频硅基超声雾化器  有限元分析  谐振频率  变幅杆  微机电系统   毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/09/17 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)   基于微纳技术的离体神经信号检测研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 王力 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/06/28 微电极阵列  离体检测  电化学  微机电系统  多巴胺  石墨烯   自组装静电驱动微机电系统倾斜镜（英文） 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2015, 期号: 2, 页码: 146-150 作者:  王强;  汪为民;  邱传凯;  于军胜 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/22 倾斜镜  微机电系统  静电驱动  自组装